詳細(xì)說(shuō)明

可用于制造各種平面、球面，凹/凸非球面、離軸非球面反射鏡、非球面陣列、非涅爾反射鏡、微溝槽陣列和多面棱鏡等各種超精密關(guān)鍵元器件，其表面粗糙度高達(dá)納米量級(jí)（Ra<10nm），實(shí)現(xiàn)光學(xué)質(zhì)量表面的一次性成型加工。 天津微納制造技術(shù)工程中心（MNMT）利用超精密數(shù)控金剛石車床，其精度高、穩(wěn)定性好，分辨率達(dá)0.034nm，可對(duì)鋁、銅、鎳、金、塑料（PMMA 等）、硅、鍺、硒化鋅、硫化鋅等材料進(jìn)行加工，以及各種尺寸的光學(xué)注塑用模仁（如手機(jī)鏡頭透鏡，數(shù)碼相機(jī)鏡頭透鏡等）。目前，MNMT開(kāi)展自由曲面加工關(guān)鍵技術(shù)的研發(fā)及自由曲面關(guān)鍵件的生產(chǎn)，目前已申報(bào)多項(xiàng)國(guó)家發(fā)明專利，成為我國(guó)關(guān)鍵件的高水準(zhǔn)制造基地。

應(yīng)用實(shí)例：

? 各種光學(xué)非球面透鏡的精密模芯及模具；

? 柱面反射鏡、拋物面及雙曲面反射鏡；

? LED準(zhǔn)直鏡，

? 非涅爾反射鏡及非涅爾透鏡；

? 各種光學(xué)自由曲面透鏡的精密模芯及模具

? LCD顯示屏的微透鏡陣列；

? 手機(jī)透鏡、數(shù)碼相機(jī)透鏡及DVD讀寫(xiě)鏡頭；

? 各種蠅眼反射鏡及蠅眼透鏡

精密檢測(cè)技術(shù)

檢測(cè)分析是超精密加工工序中必不可少的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，在加工過(guò)程中需要有高精度的檢測(cè)儀器來(lái)配合其做出合格的產(chǎn)品。我中心配備了各類國(guó)內(nèi)外先進(jìn)的檢測(cè)分析儀器來(lái)保證產(chǎn)品的精度，包括非球面表面輪廓測(cè)量系統(tǒng)，白光干涉儀，超景深微觀顯微鏡，掃描電子顯微鏡，激光干涉儀等。

表面輪廓儀

該系統(tǒng)可對(duì)包含陡峭邊沿的非球面光學(xué)鏡面及模具進(jìn)行表面輪廓、形貌、粗糙度的全自動(dòng)測(cè)量和分析。該系統(tǒng)在非球面光學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,實(shí)現(xiàn)了無(wú)斜面限制的全自動(dòng)表面測(cè)量，對(duì)表面起伏很大的非球面能夠?qū)崿F(xiàn)超高精度的測(cè)量。該輪廓儀對(duì)直徑為0.5mm～200mm且傾斜角度超過(guò)90°的模具或透鏡，均可以實(shí)現(xiàn)無(wú)差錯(cuò)測(cè)量。

超景深三維顯微鏡

易操作,可實(shí)現(xiàn)清晰的大景深立體觀察,可從任意方向進(jìn)行觀察,并可實(shí)時(shí)改善及保存圖像,實(shí)現(xiàn)觀察、保存、測(cè)量一體化。

白光干涉儀

具有測(cè)頭系統(tǒng)自動(dòng)傾斜測(cè)量功能，垂直分辨率< 0.1nm Ra， RMS重現(xiàn)性 0.05nm ，可透過(guò)介質(zhì)測(cè)量表面，主要應(yīng)用于生物醫(yī)藥器具檢測(cè) ，印刷電路板檢測(cè)，汽車零部件質(zhì)量和光學(xué)器件測(cè)量，以及MEMS和鍍膜工藝測(cè)量等等。

 

掃描電子顯微鏡

FEI SEM/FIB雙束系統(tǒng)，在同一操作界面可同時(shí)實(shí)現(xiàn)FIB加工和SEM觀察，是納米加工、2D/3D納米表征、納米分析的理想工具?？蓱?yīng)用于高精度復(fù)雜的微納米結(jié)構(gòu)和器件的加工，微電子集成電路的缺陷檢測(cè)分析和修整，微納米生物芯片和光學(xué)器件加工研究，同時(shí)還可進(jìn)行3維重構(gòu)、STEM分析、能譜分析、EBSP分析等。